桑間濮上網半導體設備市場空間巨大 相關公司搶抓微加工機遇
“人類歷史上只出現(xiàn)了兩次工業(yè)革命，體設第一次是場空機械化時代，第二次是間巨加工機遇數(shù)碼智能時代，當前處于第二次工業(yè)革命的大相高潮，‘超人時代’即將到來”“這是司搶一個全球化的產業(yè)，關起門發(fā)展是抓微不行的”“越是產業(yè)下行期越要加大投資”……8月9日至11日，第十一屆中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會半導體設備年會暨產業(yè)鏈合作論壇在無錫召開，半導備市多家半導體上市公司掌門人就半導體產業(yè)的體設發(fā)展各抒己見。
多位嘉賓表示，場空智能化時代，間巨加工機遇半導體是大相核心基礎，半導體制造對設備的司搶需求，催化了以微觀加工為核心的抓微微器件工業(yè)，即半導體設備產業(yè)。半導備市中國已成為全球半導體產業(yè)最大市場，但設備和耗材短板明顯，也意味著成長空間極大。中微公司、拓荊科技、富創(chuàng)精密、凱世通(萬業(yè)企業(yè)子公司)等多家半導體公司掌門人紛紛表示，將直面挑戰(zhàn)、搶抓機遇。
微觀加工前景廣闊
中微公司董事長兼CEO尹志堯在主題演講中，重新定義了工業(yè)革命。尹志堯劃分工業(yè)革命的理論是：工業(yè)就是“制造東西”，只有在制造的方式上有根本的變化，才能稱之為工業(yè)革命。在某個時期開發(fā)出有偉大變革性的重要產品，并不能稱為工業(yè)革命。
尹志堯認為，第一次工業(yè)革命是機械化時代，以機械代替人手，催生了宏觀加工為核心的傳統(tǒng)工業(yè)。第二次工業(yè)革命是數(shù)碼智能時代，以電腦替代人腦，以微觀器件代替人的各種感官，催生了以微觀加工為核心的微器件工業(yè)。
“當前處于第二次工業(yè)革命的高潮，到2035年數(shù)碼產業(yè)的產值將超過全球企業(yè)總產值的50%。”尹志堯表示，在數(shù)碼智能時代，半導體微觀加工設備是數(shù)碼產業(yè)的基石，又是先行者和制高點。
微觀材料包括化學薄膜、物理薄膜、單晶EPI(外延)等，微觀加工工藝則包括光刻、等離子體刻蝕、CMP(化學機械拋光)等，由此誕生了薄膜設備、外延設備、光刻機、等離子體刻蝕機、CMP等一系列的半導體微觀加工設備。
“國內晶圓廠投資加大，半導體設備、材料及零部件等供應鏈環(huán)節(jié)重要性凸顯。”華潤微執(zhí)行董事、總裁李虹表示，2022年全球半導體產業(yè)銷售額5741億美元，中國半導體產業(yè)達到1855億美元，占比約32%。中國已成為全球半導體產業(yè)最大市場，但設備和耗材短板明顯，也意味著成長空間極大。
“我們也能做好微觀器件加工工業(yè)。”尹志堯強調。他給出的數(shù)據(jù)顯示，CCP等離子體刻蝕機、ICP等離子體刻蝕機、PECVD設備、LPCVD設備、ALD設備、PVD設備、CMP設備、ECP設備、光學檢測設備、電子束檢測設備、MOCVD等11類半導體設備，都是由中國留學生領銜或作為骨干開發(fā)出來的。
“今后50年到100年，人類將進入第三次工業(yè)革命‘超人時代’。”尹志堯認為，從智能化時代到“超人時代”，以超人代替人，將催生生命科學/數(shù)據(jù)技術集成的電生工業(yè)。
挑戰(zhàn)與機遇并存
“創(chuàng)新驅動、技術演進、應用牽引。”復盤半導體產業(yè)發(fā)展的驅動力，華潤微執(zhí)行董事、總裁李虹表示，自1994年起，全球半導體市場銷售額跌宕起伏，但大趨勢就是一路向上，預計到2030年將突破萬億美元規(guī)模。
李虹認為，全球半導體產業(yè)從2022年第二季度開始出現(xiàn)環(huán)比下降，今年第二季度出現(xiàn)了環(huán)比提升的跡象;預計本輪產業(yè)周期正處于探底階段，結合需求復蘇、庫存消化節(jié)奏等因素觀察，產業(yè)有望于今年第四季度實現(xiàn)環(huán)比增長。
隨著新一輪產業(yè)周期景氣向上，半導體設備材料零部件將迎來更大的市場規(guī)模，也面臨新的挑戰(zhàn)。
中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會副秘書長，華大半導體有限公司、上海積塔半導體有限公司董事、總工程師李晉湘介紹，當前，本土設備進入大生產線還存在以下瓶頸：一是設備無法提供，處于空白，如光刻、量測、失效分析等設備;二是已有設備，但不滿足特殊工藝要求，如特殊材料生長和去除等設備;第三，設備和工藝都可以提供，但關鍵工藝成熟度不夠，影響晶圓廠良率。
在當天同步舉行的2023半導體制造技術與設備材料董事長論壇上，多家上市半導體設備公司董事長表示，將搶抓機遇，加快發(fā)展。
“這是一個全球化的產業(yè)，關起門發(fā)展是不行的。”拓荊科技董事長呂光泉強調，半導體設備產業(yè)一定要開放、合作。注意到后摩爾時代的Chiplet等新工藝需求，拓荊科技已經研制了兩款混合鍵合設備，包括晶圓對晶圓鍵合產品和芯片對晶圓鍵合表面預處理產品，主要應用于晶圓級三維集成領域。
作為國產半導體設備零部件平臺型公司，富創(chuàng)精密董事長鄭廣文強調，越是產業(yè)下行期越要加大投資，加快招募優(yōu)秀人才。面對挑戰(zhàn)，凱世通董事長李勇軍則表示，要活下去、活得好，就必須加大創(chuàng)新。
李虹表態(tài)，華潤微充分發(fā)揮IDM商業(yè)模式垂直一體化優(yōu)勢，積極支持本土設備、材料的驗證，牽引產業(yè)鏈上下游發(fā)展。
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